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隔膜式真空泵原理、有點及應(yīng)用領(lǐng)域

更新時間:2023-05-12      點擊次數(shù):650
   隔膜式真空泵是一種常見的真空泵,它采用了隔膜作為泵的工作部件。隔膜式真空泵具有體積小、操作簡便、維護(hù)方便、無油污染、抽氣速度快等特點,在實驗室、醫(yī)療設(shè)備、化工、半導(dǎo)體加工等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。
 
  一、工作原理
  隔膜式真空泵采用隔膜振動來完成氣體的吸入和排出,其工作原理類似于活塞泵。隔膜泵由兩個相互平行的隔膜組成,中間夾著一個壓縮空氣的腔體,從而形成了四個密閉的腔室。分別為進(jìn)氣腔、壓縮腔、氣體排放腔和膜背面腔。當(dāng)壓縮腔內(nèi)的氣壓下降時,隔膜因外力受到的拉力向上移動,同時將壓縮腔內(nèi)的氣體壓縮。當(dāng)隔膜向上運動到極限位置時,氣門打開,將壓縮的氣體排放到外界。然后隔膜因自重和真空作用力下落,進(jìn)入進(jìn)氣腔,從而在膜背面形成一個負(fù)壓,使得進(jìn)氣腔內(nèi)的氣體被吸入,再次開始循環(huán)工作。
 
  二、主要優(yōu)點
  1、無油污染:采用隔膜振動抽氣,沒有潤滑油,因此不會產(chǎn)生油污染,在對氣體純度要求較高的領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。
  2、抽氣速度快:采用了高效的隔膜振動技術(shù),能夠快速抽出大量氣體。
  3、體積小,操作簡單:體積小巧,操作簡單,維護(hù)方便,適用于實驗室和小型化工設(shè)備。
  4、耐腐蝕性強(qiáng):由于使用的材料耐腐蝕性強(qiáng),因此可以在腐蝕性較強(qiáng)的介質(zhì)中進(jìn)行抽氣。
 
  三、隔膜式真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域
  1、分析儀器:如氣相色譜、質(zhì)譜儀、光譜儀等;
  2、實驗室設(shè)備:如真空干燥器、冷凍干燥器、真空浸漬設(shè)備等;
  3、化學(xué)工業(yè):如蒸餾、冷凝、萃取等過程中的真空處理;
  4、半導(dǎo)體制造業(yè):如半導(dǎo)體器件制造、顯示器制造等的真空處理;
  5、生物醫(yī)藥行業(yè):如生物反應(yīng)器、離心機(jī)、冷凍離心機(jī)等的真空處理。
  隔膜式真空泵由于其不需要潤滑油,所以能夠避免油污染和廢棄物處理問題,因此在一些對環(huán)境保護(hù)要求較高的領(lǐng)域也得到了廣泛應(yīng)用。

隔膜式真空泵

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